A MEMS-tükrök képesek a fény irányítására, modulálására és kapcsolására, valamint a hullámfront fókuszálás vagy fázismoduláció céljából történő szabályozására. A...
Az optikai mikroelektromechanikai rendszerek (MEMS), mikrooptoelektromechanikai rendszerek (MOEMS) vagy optikai mikrorendszerek olyan eszközök vagy rendszerek,...
