A félvezető szilíciumtechnológia kézikönyve

Eredeti címe:

Handbook of Semiconductor Silicon Technology

Könyv tartalma:

Ez a kézikönyv a félvezető szilícium anyagok tudományának, technológiájának és gyártásának átfogó összefoglalása. A szilícium minden ismert tulajdonságát részletesen ismerteti.

Tartalmazza a bináris fázisdiagramok teljes készletét. Az olyan gyakorlati szempontok, mint az anyagkezelés, a biztonság, a szennyeződések és a hibák csökkentése szintén részletesen tárgyalásra kerülnek. A szilícium prekurzor vegyületek, a poliszilícium, a szilíciumkristályok növekedése, a szilíciumszelet gyártása, az epitaxiális és a CVD leválasztás alapjai az e területeken dolgozó szakértők által kerülnek tárgyalásra.

Az anyagok tulajdonságai között szerepelnek az elektromos, optikai és mechanikai tulajdonságok, a mélységi szennyeződések és a hordozó élettartama, a termokémia, valamint az oxigén-, szén- és nitrogénszennyeződésekkel foglalkozó külön fejezetek. A könyv kiterjedt hivatkozásokkal, az anyagállandók és a szilícium tulajdonságait tartalmazó táblázatokkal, valamint az anyaggyártás jelenlegi állásának bemutatásával egészül ki.