Értékelés:
Jelenleg nincsenek olvasói vélemények. Az értékelés 2 olvasói szavazat alapján történt.
Handbook of Chemical Vapor Deposition: Principles, Technology and Applications
A kémiai gőzfázisú leválasztás kézikönyve: A kémiai gőzfázisú leválasztás alapvető szempontjaival kapcsolatos információkat nyújt. Ez a könyv a kémiai gőzfázisú leválasztás alkalmazásait tárgyalja, amely viszonylag rugalmas technológia, amely számos variációra képes.
A 12 fejezetre tagolt könyv a kémiai gőzfázisú leválasztási folyamat elméleti vizsgálatának áttekintésével kezdődik. Ezután a szöveg ismerteti a főbb kémiai reakciókat, és áttekinti a kutatásban és a gyártásban használt kémiai gőzfázisú leválasztó rendszereket és berendezéseket. Más fejezetek a kémiai gőzfázisú leválasztással leválasztott anyagokat vizsgálják.
A könyv tárgyalja a kémiai gőzfázisú leválasztás lehetséges alkalmazásait is a félvezetők és az elektronika területén. Az utolsó fejezet az ionimplantációval, mint a félvezetők gyártásának egyik fő folyamatával foglalkozik.
Ez a könyv értékes forrás a tudósok, mérnökök és diákok számára. A termelési és marketingvezetők, valamint a berendezések, anyagok és szolgáltatások beszállítói szintén hasznosnak találják majd ezt a könyvet.