Fundamental of micro/nano fabrication
Ebben a könyvben a feszültségfüggő termikus nedves oxidnövekedési folyamatot írják le. A szilícium oxidációs sebessége a kristályorientáció és a síkmetszés szögének függvénye.
A szilíciumfelület mikromegmunkálási eljárásokat írják le a szabadon álló mechanikai szerkezet és az egyedi háromdimenziós jellemzők előállításához. A mikrogyártás során figyelembe kell venni az ömlesztett mikromegmunkálást és a maratást. Sematikus és SEM mikroszkópos felvétel leírása fém (alumínium) porlasztott oxid piramisos konzolos szondára, hogy fém nano-nyílást is képezzen.
A közeli és távoli mező elméleti koncepcióját az NSOM-szondával gyártott háromszög és téglalap alakú NSOM cantilever tömb segítségével magyarázták el. A zajszint csökkentése és a szondán keresztüli nagy optikai átvitel érdekében a tervezett NSOM konzolos szonda a szonda alatt ömlesztett Si-t tartalmaz.
A konzolok fő összetevőjének jellemzésére az NSOM-szondán keresztül történő optikai átvitel és a rezonanciafrekvencia. A konzolok rezonanciafrekvenciája a méretekkel változik.
Az optikai átvitelt az NSOM konzolos szonda nyílásán keresztül mérjük.