Alumínium-nitrid vékonyrétegek - leválasztás a gyártáshoz, jellemzés és a felületi akusztikus hullámeszközök gyártása

Olvasói vélemények

Jelenleg nincsenek olvasói vélemények. Az értékelés 2 olvasói szavazat alapján történt.

Eredeti címe:

Aluminum Nitride Thin Films - Deposition for Fabrication, Characterization and Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices

Könyv tartalma:

Az alumínium-nitrid (AlN) vékonyrétegek számos eszközalkalmazásban használhatók, például felületi akusztikus hullám (SAW) eszközökben, mikroelektromechanikus rendszerekben (MEMS) és csomagolási alkalmazásokban. Ebben a munkában az AlN a kritikus réteg a gyártási folyamatban.

Az egyik kihívás a megbízható lerakódás az ostyaméretű hordozókon. A leválasztás szempontjából érdekes módszer az impulzus DC porlasztás. A (002) sík a kívánt sík a piezoelektromos tulajdonságai miatt.

A leválasztott AlN felületi érdessége alacsony, és jól tapad a hordozóhoz. Az AlN-réteget egy UNCD/Si hordozóra helyezték le.

Az AlN-rétegre Al-t helyeztek el, hogy kialakítsák a SAW-eszközök IDT-it (interdigitális átalakítók). A SAW-eszközöket kvarc - ST szubsztráton gyártották. A SAW-eszközök működésének ellenőrzésére hálózati analizátorral teszteltük őket.

Ez a könyv tárgyalja ezeket az eredményeket és az AlN film lerakásának paramétereit, a film tulajdonságait és az eszközökre gyakorolt hatását. Ez a könyv hasznos lenne a széles sávhatárú félvezetők, nitridek és piezoelektromos anyagok, valamint a különböző akusztikus hullámeszközök területén dolgozó szakemberek, tudósok, mérnökök és végzős tudományos és mérnöki hallgatók számára.