Atomi rétegfeldolgozás: Félvezető száraz maratási technológia

Olvasói vélemények

Jelenleg nincsenek olvasói vélemények. Az értékelés 2 olvasói szavazat alapján történt.

Eredeti címe:

Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology

Könyv tartalma:

Ismerje meg a maratás alapvető és haladó témáit ebből a gyakorlati útmutatóból

Atomi rétegfeldolgozás: A félvezető száraz maratási technológia gyakorlatias, egyablakos segédanyagot nyújt a maratási technológiák és alkalmazásuk megértéséhez. A kiváló tudós, vezető és szerző alapos információkat nyújt az olvasóknak a félvezetőiparban használt különböző maratási technológiákról, beleértve a termikus, izotróp atomréteg-, radikális, ionsegített és reaktív ionmaratást.

A könyv a maratási technológia rövid történetével és az informatikai forradalomban játszott szerepével kezdődik, valamint az iparágban általánosan használt szakkifejezések gyűjteményével. Ezután a különböző maratási technikák tárgyalása következik, majd a maratási reaktorok tervezésének alapjait és a területen újonnan megjelenő témákat, például a mesterséges intelligencia szerepét a technológiában tárgyalja.

Az atomi rétegfeldolgozás számos más témát is tartalmaz, amelyek mindegyike hozzájárul a szerző azon céljához, hogy az olvasó atomi szintű ismereteket szerezzen a száraz maratási technológiáról, amelyek elegendőek ahhoz, hogy konkrét megoldásokat fejlesszen ki a meglévő és újonnan megjelenő félvezető technológiákhoz. Az olvasók hasznára válik:

⬤ Az atomok különböző felületekről való eltávolításának alapjainak teljes körű tárgyalása.

⬤ A feltörekvő maratási technológiák vizsgálata, beleértve a lézer- és elektronsugárral segített maratást.

⬤ A marástechnológiában alkalmazott folyamatirányítás és a mesterséges intelligencia szerepének kezelése.

⬤ A maratási módszerek széles skálájának elemzése, beleértve a termikus vagy gőzmaratást, az izotróp atomrétegmaratást, a radikális maratást, az irányított atomrétegmaratást és még sok más módszert.

Az anyagtudósok, félvezetőfizikusok és felületi kémikusok számára tökéletes könyv, az Atomrétegek megmunkálása az ipari és egyetemi mérnöktudósok könyvtáraiban is helyet fog kapni, valamint mindazokéban, akik a félvezetőtechnológia gyártásával foglalkoznak. A szerzőnek a vállalati kutatás-fejlesztésben és a tudományos kutatásban való szoros részvétele lehetővé teszi, hogy a könyv egyedülállóan sokoldalú megközelítést kínáljon a témához.