Chemistry of Atomic Layer Deposition
Ez a könyv segít a vegyészeknek és a nem vegyészeknek egyaránt megérteni a felületkémia és a prekurzorok tervezésének alapjait, valamint azt, hogy ezek a prekurzorok hogyan irányítják az atomréteg-leválasztás folyamatait, és hogy a felület-prekurzor kölcsönhatás hogyan szabályozza az atomréteg-leválasztási folyamatokat.
Az atomréteg-leválasztás alapelvei a prekurzor és a felület kémiai kapcsolatán alapulnak.