Az ionbeültetés enciklopédiája

Eredeti címe:

Encyclopedia of Ion Implantation

Könyv tartalma:

Ez a könyv az ionimplantáció folyamatosan átalakuló technológiáját vizsgálja.

Az ionimplantáció számos kereskedelmi vállalkozás felismerésének köszönhetően fejlődő terület. A berendezések továbbfejlesztése, a sugár és a szilárd anyag közötti kölcsönhatások megértése, az újszerű anyagokra való alkalmazások, az optimalizált jellemzési stratégiák és a nanoszerkezetek kialakításának implantációját alkalmazó újabb fejlesztések az ionimplantáció új irányaira mutatnak, amelyeket ez a mindenre kiterjedő könyv ismertet.