Bevezetés a mikrogyártásba

Eredeti címe:

Introduction to Microfabrication

Könyv tartalma:

Ez a közérthető szöveg most teljesen átdolgozott és frissített formában áttekintést nyújt a modern mikroeszközök megvalósításához szükséges gyártási technológiákról és anyagokról. Bemutatja, hogyan alkalmazhatók az általános mikrogyártási elvek különböző alkalmazásokban, a nanométeres szondahegyektől a méteres napelemekig, valamint a kettő között számos mikroelektronikai, mechanikai, optikai és áramlástani eszköz létrehozásához. A legújabb fejlesztésekkel foglalkozik az ostyatechnika, a mintázás, a vékonyrétegek, a felületelőkészítés és a kötés területén.

Ez a második kiadás a következőket tartalmazza:

⬤ bővített szakaszok a MEMS-sel és a mikrofluidikával kapcsolatos gyártási kérdésekről.

⬤ új fejezetek a polimer és üveg mikrofeldolgozásról, valamint a sorozatos feldolgozási technikákról.

⬤ 200 teljesen új és 200 módosított ábrát.

⬤ több lefedettség a lenyomatkészítési technikák, a folyamatintegráció és a mikrogyártás gazdaságosságának témakörében.

⬤ 300 házi feladat, köztük koncepcionális gondolkodási feladatok, nagyságrendi becslések, szabványos számítások, valamint eszköztervezési és folyamatelemzési feladatok.

⬤ a házi feladatok megoldásai a kiegészítő weboldalon, valamint a könyvben található ábrák és táblázatok PDF-fóliái.

Az alapelveket és a haladóbb anyagokat világosan elkülönítő szakaszokkal ez egy értékes tankönyv a végzős egyetemisták és a kezdő egyetemi hallgatók számára, akik meg akarják érteni a mikrogyártás alapjait. A könyv praktikus íróasztali referenciaként is szolgál a gyakorló villamosmérnökök, anyagtudósok, vegyészek és fizikusok számára egyaránt.

Www.wiley.com/go/Franssila_Micro2e.