Semiconductor Strain Metrology: Principles and Applications
Ez a könyv a félvezetők feszültségmérésére szolgáló főbb és újonnan kifejlesztett technikákat tekinti át.
A félvezető alakváltozás-mérés az utóbbi években a vékonyrétegek és a nanoszintű eszközök jellemzésével foglalkozó kutatók nagy érdeklődésére számot tartó témaként jelent meg. Ez a könyv oktatói megközelítést alkalmaz az egyes technikák elveinek és alkalmazásainak ismertetéséhez, kifejezetten a végzős hallgatók és posztdoktori kutatók számára.
A kiválasztott témák között szerepelnek az optikai, elektronsugaras, ionnyalábos és szinkrotron röntgensugaras technikák. A korábbi referenciákkal ellentétben ez a könyv kifejezetten a félvezető eszközökre alkalmazott feszültségmérést tárgyalja mélységében és fókuszáltan.