III-V integrált áramkörök gyártástechnológiája

Olvasói vélemények

Jelenleg nincsenek olvasói vélemények. Az értékelés 2 olvasói szavazat alapján történt.

Eredeti címe:

III-V Integrated Circuit Fabrication Technology

Könyv tartalma:

A GaAs-feldolgozás érett stádiumba ért.

Új félvezető vegyületek jelennek meg, amelyek a jövő anyag- és eszközkutatását fogják meghatározni, bár a GaAs esetében alkalmazott feldolgozási technikák továbbra is relevánsak maradnak. Ez a könyv a III-V-feldolgozás jelenlegi állásának minden aspektusával foglalkozik, különös tekintettel a HBT-kre.

Célcsoportja a gyakorló mérnökök és a végzős hallgatók, valamint a III-V félvezető IC-feldolgozás területén újonnan dolgozó mérnökök. A könyv elsődleges célja az aktív és passzív eszközök feldolgozásának minden aspektusának tárgyalása, a kristálynövesztéstől a hátoldali feldolgozásig, beleértve a litográfiát, a maratást és a filmleválasztást.