
Advanced Mems/Nems Fabrication and Sensors
Ez a könyv a MEMS (mikroelektromechanikai rendszerek) és NEMS (nanoelektromechanikai rendszerek) eszközök új és egyedülálló gyártási, mikromegmunkálási és integrációs gyártási módszereinek, valamint az érzékelők gyártásához használt új nanoanyagok bemutatásával kezdődik.