Kvantitatív adatfeldolgozás a pásztázó szondás mikroszkópiában: Spm-alkalmazások a nanometrológiában

Eredeti címe:

Quantitative Data Processing in Scanning Probe Microscopy: Spm Applications for Nanometrology

Könyv tartalma:

A pontos mérés a nanoméretben - a nanometrológia - kritikus eszköz a fejlett nanotechnológiai alkalmazásokban, ahol a pontos mennyiségek és a mérnöki pontosság meghaladja a hagyományos mérési technikák és műszerek képességeit.

A pásztázó szondás mikroszkópia (SPM) egy fizikai szondával történő pásztázással készít képet a mintadarabról; a fény vagy az elektronok hullámhossza által nem korlátozott, az ezzel a technikával elérhető felbontás akár atomokat is képes felbontani. Az SPM műszerek közé tartozik az atomerő-mikroszkóp (AFM) és a pásztázó alagútmikroszkóp (STM).

A pásztázó szondás mikroszkópia (SPM) terén az elmúlt húsz év során elért óriási fejlődés ellenére a benne rejlő lehetőségek, mint kvantitatív mérési eszköz, nem valósultak meg teljes mértékben, olyan kihívások miatt, mint például a hegy és a minta közötti kölcsönhatás összetettsége. Ebben a könyvben Petr Klapetek a legújabb kutatások alapján feltárja az SPM-et mint a nanometrológia eszköztárát olyan különböző területeken, mint a nanotechnológia, a felületfizika, az anyagmérnöki tudományok, a vékonyréteg-optika és az élettudományok. Klapetek jelentős tapasztalata a kvantitatív adatfeldolgozás terén, a szoftvereszközök használatával lehetővé teszi, hogy ne csak a mikroszkópiai technikákat magyarázza el, hanem a gyűjtött adatok elemzését és értelmezését is demisztifikálja.

Az SPM-méréstechnika alapvető elvei és elmélete mellett Klapetek az SPM-elemzés során felmerülő problémák tipikus megoldási módjait bemutató számos kidolgozott példával is ellátja az olvasót. A példák forrásadatai, valamint a legtöbb ismertetett nyílt forráskódú szoftvereszköz elérhető egy kapcsolódó weboldalon.