Lithography: The Science of Microfabrication and Nanofabrication
A litográfia egy olyan síknyomtatási technikára utal, amely korábban a víz és az olaj keverhetetlenségén alapult. A nyomtatás sima felületű kő- vagy fémlemezre történik.
A nagy funkcionalitású miniatürizált rendszerek igénye miatt a különböző területeken a litográfia technikáit számos területen fejlesztették ki és alkalmazták a kívánt célokra. Ezek közé tartoznak az orvosbiológiai kutatások, a félvezetőfejlesztés, valamint a kémiai és biológiai elemzés. A litográfia fontos szerepet játszik a nano- és mikrogyártási technikákban.
A mikrogyártás a mikroszkopikus struktúrák gyártásának technikája a mikrométeres és annál kisebb léptékben. A nanofabrikálás az 1-100 nanométeres mérettartományban lévő egy-, két- vagy háromdimenziós nanoszerkezetek létrehozására használt technikára utal.
A mikro- és nanohógyártás kritikus fontosságú a miniatürizált rendszerek növekedése szempontjából. Ez a könyv megvilágítja a litográfiával és annak a mikro- és nanohógyártásban való alkalmazásával kapcsolatos, a jövőbeli fejlesztések körüli koncepciókat és innovatív modelleket.
Segít az olvasóknak abban, hogy lépést tartsanak az e tudományterület gyors változásaival.