Micro Electro-Fabrication
A Mikro- és nanoelektrogyártás három fő nanoméretű elektrogyártási technikát ismertet, köztük az elektrokisüléses megmunkálást, az elektrokémiai megmunkálást és az elektrokémiai leválasztást.
A tárgyalt alkalmazások közé tartozik az autóipari fúvókák gyártása, a miniatűr furatok megmunkálása a repülőgép-turbinák lapátjainak hűtéséhez, az orvosbiológiai eszközök gyártása, mint például a sztentek, a mikrocsatornák gyártása mikrofluidikai alkalmazásokhoz, különböző MEMS-eszközök gyártása, mikrokomponensek gyors prototípusgyártása és nanoelektródák gyártása pásztázó elektronmikroszkópiához. Ez az átfogó könyv a különböző elektrogyártási folyamatok alapvető természetét, valamint a matematikai modellezést és az alkalmazásokat tárgyalja.
Fontos referenciaként szolgál a nanoméretű anyagtudósok és mérnökök számára.