Mikrohullámú kisülések - elmélet és alkalmazások (Plazmafizika sorozat)

Eredeti címe:

Microwave Discharges - Theory & Applications (Plasma Physics Series)

Könyv tartalma:

Az előszóból idézve: "A könyv szerzőinek többsége a mikrohullámú plazmafizika, a technika és a plazmafeldolgozás különböző területeinek ismert szakértője.

A témák a mikrohullámú kisülések elméletének, kísérleteinek és alkalmazásainak valamennyi problémáját felölelik, és a kisülések elméletének, modellezésének és diagnosztikájának legmodernebb trendjeit, a mikrohullámú plazma előállításának módszereit, a nagy és kis nyomású mikrohullámú kisüléseket, a mikrohullámok és a plazma kölcsönhatását, a mikrohullámú plazma alkalmazásait (felületkezelés, maratás, filmleválasztás, struktúrák növesztése, fényforrások, analitikai kémia stb. ) Reméljük, hogy ez a könyv hasznos lesz minden olyan szakember számára, aki alacsony hőmérsékletű plazmafizikával és -feldolgozással foglalkozik.