Mikrorendszerek dinamikája

Eredeti címe:

Microsystems Dynamics

Könyv tartalma:

Előszó; Előszó; Bevezetés a mikrorendszerekbe; A mikrorendszerek gyártástechnológiái; Áttekintés; Mikrokapcsolók gyártására szolgáló nikkelfelületi mikromegmunkálási technológia; Mikromotorok gyártására szolgáló UV-litográfia; Gyakori MEMS-aktuátorok; Párhuzamos lemezkondenzátorok; Fésűs meghajtások; Elektrosztatikus mikromotorok; Elektrosztatikus mikrokapcsolók; A mikrorendszerekben gyakori többfizikai kölcsönhatások elméleti háttere; Bevezetés a csatolt mező modellezésébe; Elektrosztatikus működtetés és behúzási instabilitás; Viszkózus légcsillapítás; Rezgés-ütközés kölcsönhatások; A mikrorendszer dinamikájának kísérleti vizsgálata; Rezgésgerjesztési módszerek; Optikai technikák a mikroszerkezetek rezgéseinek mérésére; Rugalmas rezgés-ütközéses makro- és mikrorendszerek vizsgálata; A nemlineáris dinamika fontos új hatásainak áttekintése rezgés-ütközéses; makrorendszerekben;;Párosított meződinamika elemzése érintkező típusú elektrosztatikus mikroaktuátorban; Fluidikus-szerkezeti kölcsönhatás numerikus modellezése és elemzése; Elektrosztatikus-szerkezeti kölcsönhatás numerikus modellezése és elemzése; A rezgés-ütközés kölcsönhatás numerikus modellezése és elemzése; A mikromotor numerikus elemzése; A mikromotor végeselemes modellezése; Modális elemzés; Mikromotor vezérlése; A mikromotor analitikus modellje; A mikromotor geometriájának alapjai; Nyomatékelemzés; Mikromotor tervezési útmutató; Hivatkozások.