Nanofabrikálás: Nanolitográfiai technikák és alkalmazásuk

Eredeti címe:

Nanofabrication: Nanolithography techniques and their applications

Könyv tartalma:

Átfogó szerkesztett kötet a fontos és naprakész nanolitográfiai technikákról és alkalmazásokról. A könyv bevezetést tartalmaz a nanolitográfia jelentőségéről a mai kutatásban és technológiában, példákat hozva az alkalmazásokra.

A könyv további része két részre tagolódik. Az első rész a legfontosabb és legelterjedtebb nanolitográfiai technikákat tartalmazza. Az egyes technikák részletes leírása mellett az olvasó hasznos információkat kaphat az egyes technikák főbb előnyeiről és hátrányairól a felbontás, az áteresztőképesség, a szükséges lépések száma, a költségek stb. tekintetében. E szakasz végén az olvasó képes lesz eldönteni, hogy melyik technikát használja a különböző alkalmazásokhoz.

A második szakasz a korábban ismertetett nanolitográfiás technikák specifikusabb alkalmazásait, valamint új technikákat és alkalmazásokat vizsgál. Egyes esetekben az ezekben a fejezetekben leírt eljárások több nanolitográfiai technika kombinációját foglalják magukban. Ez a rész kevésbé általános, de valós példákkal látja el az olvasót.

Főbb jellemzők

⬤ Kifejezetten alkalmas a mester/ PhD hallgatók számára, akiknek alapvető ismeretekre van szükségük a nanolitográfiai technikákról és arról, hogy hogyan/hol alkalmazhatók.

⬤ Tartalmazza a legfrissebb információkat, frissített hivatkozásokkal a kutatók és mérnökök számára, akiknek bővíteniük vagy frissíteniük kell a nanofabrikálással kapcsolatos ismereteiket.

⬤ Minden fejezetet a világ vezető szakértői írtak saját kutatási területükön.

⬤ Pedagógiai megközelítést követ; minden egyes fejezet várhatóan kidolgozott példákat, esettanulmányokat és fejezet végi összefoglalót tartalmaz.

⬤ Interaktív elemeket, például videoanimációkat tartalmaz.