Modeling Self-Heating Effects in Nanoscale Devices
Általánosan elismert tény, hogy a modellezés és a szimuláció a félvezetőgyártás jelenlegi környezetében, ahol a folyamatok és a kapcsolódó maszkkészletek költsége exponenciálisan nő az egymást követő technológiai csomópontokkal, előnyösebb alternatívát jelent a próbálgatással és hibával történő megközelítéssel szemben. Ezért a pontos fizikai eszközszimulációs eszközök elengedhetetlenek az eszköz és az áramkörök teljesítményének pontos előrejelzéséhez.
A mikro- és nanoszintű mikroelektronikai eszközök és vékonyréteg-szerkezetek pontos termikus modellezése és tervezése kihívást jelent a villamosmérnökök számára, akik kevésbé ismerik a szubkontinuumos hőtranszport alapfogalmait és elképzeléseit. Ez a könyv ezt a szakadékot kívánja áthidalni.
Az eszközök teljesítményének és megbízhatóságának növeléséhez hatékony hőelvezetési módszerekre van szükség. A szerzők a nanoméretű kísérleti technikák és a pontos modellezési módszerek kombinációját nyújtják az olvasóknak, amelyeket alkalmazni kell az eszköz hőmérsékleti profiljának meghatározásához.
