An Optical Profilometer for Ultra HighVacuum Conditions - Design, Construction, and Implementation
Világunk megértéséhez elengedhetetlen a természeti törvények ismerete. Évszázadokon keresztül ezeket a törvényeket mérésekből vezették le, de még mindig sok a nyitott kérdés.
Az egyik ilyen nyitott kérdés a profilok pontos mérése nagyon tiszta körülmények között, amelyet ezúttal megoldunk. Ez a könyv részletesen ismerteti egy olyan optikai profilométer tervezését, építését és megvalósítását, amely ultra nagy vákuum körülmények között képes komplex felületi profilok mérésére. A felületi profilt (vákuumban) egy optikai érzékelőnek egy látóablakon keresztüli letapogatásával kapjuk meg.
A műszert elektrosztatikusan deformált szilíciumszeletek jellemzésére tervezték. A kiválasztott ostyák kívánt alakba hajlításához akár 25 MV/m-es hangolható elektromos térre van szükség.
Az elektrosztatikus mező elektromos áttörésének megakadályozásához tiszta UHV környezetre van szükség. Ez a könyv érdekes lehet a tudósok, mérnökök és mindazok számára, akiket érdekel a mérés.