Eredeti címe:
Piezoelectric MEMS
Könyv tartalma:
A piezoelektromos rétegeken és vékonyrétegeken alapuló elektromechanikus átalakítók egyre nagyobb teret nyernek a mikro-elektromechanikus rendszerekben (MEMS). A piezoelektromos átalakítók lineáris feszültségreakcióval rendelkeznek, nincs bepattanó viselkedésük, és vonzó és taszító erőket egyaránt képesek kifejteni. Ez megszünteti az általánosan használt elektrosztatikus átalakítókban rejlő fizikai korlátozásokat, miközben olyan előnyös tulajdonságokat tart fenn, mint az alacsony energiafelhasználás. A piezoelektromos MEMS-ben rejlő teljes potenciál kiaknázása érdekében az interdiszciplináris kutatási erőfeszítések a fejlett piezoelektromos anyagok vizsgálatától az új piezoelektromos MEMS érzékelő és működtető eszközök tervezésén át a piezoMEMS eszközök teljes, kis teljesítményű rendszerekbe történő integrálásáig terjednek. Ebben a különszámban ennek az izgalmas kutatási területnek a jelenlegi helyzetét mutatjuk be, a témák széles körét lefedve, többek között a következőket:
- Kísérleti és elméleti kutatások piezoelektromos anyagokon, mint például AlN, ScAlN, ZnO vagy PZT, PVDF, nagy hangsúlyt fektetve a MEMS-eszközök alkalmazására.
- A piezoelektromos anyagok leválasztási és szintézis technikái, amelyek lehetővé teszik ezen anyagok integrálását a MEMS gyártási folyamatokba.
- Piezoelektromos MEMS eszközök és rendszerek modellezése és szimulációja.
- Piezoelektromos MEMS-rezonátorok olyan fizikai mennyiségek mérésére, mint a tömeg, a gyorsulás, a gördülési sebesség, a nyomás és a folyadékok viszkozitása vagy sűrűsége.
- Optikai MEMS-eszközök, például pásztázó mikrotükör eszközök és optikai kapcsolók, amelyek piezoelektromos MEMS-en alapulnak.
- Akusztikai eszközök, mint például SAW, BAW vagy FBAR és akusztikus átalakítók, amelyek piezoelektromos MEMS-en alapulnak, mint például mikrofonok vagy hangszórók.
- Piezoelektromos energiagyűjtő eszközök.
- A piezoelektromos eszközök és rendszerek különleges csomagolási szempontjai.
- Alacsony és nulla teljesítményű rendszerek, amelyek kis teljesítményű érzékelőket tartalmaznak energiagyűjtő eszközökkel kombinálva, amelyek közül legalább az egyik piezoelektromos MEMS-en alapul.
