Wafer Manufacturing: Az egykristályos szilícium ostyák alakítása

Eredeti címe:

Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers

Könyv tartalma:

Ez a könyv először a fizikát, a kapcsolódó metrológiát, a folyamatmodellezést és a minőségi követelményeket ismerteti, majd a következő fejezetben a szilánkok formázását és a szilánkok felületének előkészítési technikáit tárgyalja.

A könyv a szilánkok gyártásának minden fontosabb szakaszát bemutatja, a kristályoktól az elsődleges szilánkokig.

Az egészet egy fejezet zárja le, amely a kutatásról és az ostyagyártás jövőbeli kihívásairól szól.