Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers
Ez a könyv először a fizikát, a kapcsolódó metrológiát, a folyamatmodellezést és a minőségi követelményeket ismerteti, majd a következő fejezetben a szilánkok formázását és a szilánkok felületének előkészítési technikáit tárgyalja.
A könyv a szilánkok gyártásának minden fontosabb szakaszát bemutatja, a kristályoktól az elsődleges szilánkokig.
Az egészet egy fejezet zárja le, amely a kutatásról és az ostyagyártás jövőbeli kihívásairól szól.