Értékelés:
A könyv nagy népszerűségnek örvend a felhasználók körében az ellipszometria világos bevezetése miatt, amely különösen a kezdők számára nyújt gyakorlati ismereteket és hasznos betekintést. Alapfogalmakat, egyenleteket és esettanulmányokat tartalmaz, így átfogó útmutató, bár csak egy hullámhosszúságú mérésekre korlátozódik.
Előnyök:⬤ Kiváló bevezetés az ellipszometria kezdő alkalmazói számára.
⬤ Az alapvető fogalmak és alapegyenletek világos magyarázata.
⬤ Gyakorlati megközelítés a kísérleti nehézségek kezelésére.
⬤ Értékes esettanulmányok a tudás alkalmazásához.
⬤ Jó ár és gyors szállítás.
⬤ Egyetlen hullámhosszú, egyetlen szöget bezáró műszerekre korlátozódik.
⬤ Nem terjed ki a spektroszkópiai ellipszometriára, amely egyre elterjedtebb.
(7 olvasói vélemény alapján)
A User's Guide to Ellipsometry
Ez a végzős hallgatóknak szóló optikai szöveg elmagyarázza, hogyan határozhatók meg az anyagtulajdonságok és paraméterek hozzáférhetetlen szubsztrátumok és ismeretlen filmek esetében, valamint hogyan mérhetők meg rendkívül vékony filmek. A 14 esettanulmány szemlélteti az ellipszometria fogalmait és erősíti az ellipszometria alkalmazásait - különösen a félvezetőiparral, valamint a korrózióval és az oxidnövekedéssel kapcsolatos vizsgálatokkal kapcsolatban.
Az A User's Guide to Ellipsometry lehetővé teszi az olvasók számára, hogy túllépjenek az ellipszométerek korlátozott, kulcsrakész alkalmazásain. A filmvastagság és az optikai állandók filmben történő mérésének átfogó tárgyalása mellett az ellipszometriai paraméterek Del és Psi pályáját is vizsgálja, valamint azt, hogy az anyagváltozások hogyan befolyásolják a paramétereket.
A kötet foglalkozik a mikroelektronikai iparban gyakran alkalmazott poliszilícium anyag felhasználásával és a szubsztrát érdességének hatásaival is. Három függelék hasznos hivatkozásokat tartalmaz.
