Értékelés:
Jelenleg nincsenek olvasói vélemények. Az értékelés 8 olvasói szavazat alapján történt.
Spectroscopic Ellipsometry: Practical Application to Thin Film Characterization
Az ellipszometria a vékonyrétegek vastagságának és optikai tulajdonságainak meghatározására szolgáló kísérleti technika.
Kiválóan alkalmas a nanométer alatti és a több mikrométeres vastagságú filmek vizsgálatára. A spektroszkópiai mérések nagymértékben kibővítették e technika lehetőségeit, és bevezették alkalmazását minden olyan területen, ahol vékonyrétegek találhatók: félvezető eszközök, lapos panel- és mobilkijelzők, optikai bevonatkupacok, biológiai és orvosi bevonatok, védőrétegek stb.
Bár a témáról több tudományos könyv is létezik, ez a könyv jó bevezetést nyújt a technika alapvető elméletébe és gyakori alkalmazásaiba. A célközönség nem az ellipszometriával foglalkozó tudósok, hanem olyan folyamatmérnökök és anyagtudományi hallgatók, akik a saját területükön szakértőnek számítanak, és az ellipszometriát a vékonyrétegek tulajdonságainak mérésére szeretnék használni anélkül, hogy magának az ellipszometriának a szakértőjévé válnának.
