Epitaxy: Physical Principles and Technical Implementation
A szerzők egységes és átfogó módon írják le a szilárd filmek kristályos szubsztrátokon történő epitaxiális növekedési folyamatainak minden fontos aspektusát, például azokat a folyamatokat, amelyek során a növekvő film atomjai utánozzák a szubsztrát atomjainak elrendeződését.
A hangsúlyt a téma kellően alapvető és egyértelmű bemutatására helyezik, könnyen olvasható áttekintés formájában. A könyv nagy része a heteroepitaxia problémáival foglalkozik.
A legfontosabb, jelenleg az alapkutatásban és az eszközök gyártási folyamataiban egyaránt széles körben alkalmazott epitaxiális növekedési technikák kerülnek bemutatásra és részletes tárgyalásra.
